X射線衍射儀的形式多種多樣，用途各異，但其基本構(gòu)成很相似，為X射線衍射儀的基本構(gòu)造原理圖，主要部件包括4部分。

　　(1) 高穩(wěn)定度X射線源　提供測量所需的X射線, 改變X射線管陽極靶材質(zhì)可改變X射線的波長, 調(diào)節(jié)陽極電壓可控制X射線源的強度。

　　(2) 樣品及樣品位置取向的調(diào)整機構(gòu)系統(tǒng)　樣品須是單晶、粉末、多晶或微晶的固體塊。

　　(3) 射線檢測器　檢測衍射強度或同時檢測衍射方向, 通過儀器測量記錄系統(tǒng)或計算機處理系統(tǒng)可以得到多晶衍射圖譜數(shù)據(jù)。

　　(4) 衍射圖的處理分析系統(tǒng)　現(xiàn)代X射線衍射儀都附帶安裝有衍射圖處理分析軟件的計算機系統(tǒng), 它們的特點是自動化和智能化。

　　主要技術(shù)參數(shù):一臺好的儀器應能得到準確(測得的數(shù)值與其真值相符)并(測量重復性好)的2θ、I及f(x)，需 要考慮下列幾個主要技術(shù)參數(shù)：

　　1、X射線發(fā)生器的穩(wěn)定度：這不僅關(guān)系到所測衍射強度的準確可靠，而且關(guān)系到所有部件的準確和穩(wěn)定。現(xiàn)代粉末衍射儀的光源穩(wěn)定性一般在外電源變化10%以內(nèi)，輸出變化0.01%以內(nèi)。

　　2、X射線管的功率：對于密封式X射線管，Cu靶一般為2kw，Ag、Mo、W等靶一般大于2kw，而對Co、Fe、Ni等靶則小于2kw。對于轉(zhuǎn)靶，常用的有12kw和18kw。

　　3、單色器的效率：應不小于25%。

　　4、探測器的效率：視品種而異。

　　5、計數(shù)的線性范圍：關(guān)系到強度測量的準確性，一般在cps。有許多儀器附加了校正軟件，宣稱可以達到cps。

　　6、衍射角(2θ)的測量準確度和度。

　　7、分辨率：常用的Si(311)衍射峰的半高寬來代表。對于一般實驗室粉末衍射儀，此值約在0.05°~0.1°之間。